000 00311nam a2200121Ia 4500
005 20260325112157.0
008 260325s9999||||xx |||||||||||||| ||und||
082 _a621.381 J71E
100 _aJones, Thomas B.
245 0 _aElectromechanics and MEMS
260 _aDelhi
_bCambridge uni.press
_c2016
942 _cBK
999 _c270944
_d270944